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我國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展亟待突破高端特氣瓶頸

發(fā)布時(shí)間：2023-07-27

盡管在鋼瓶氣等傳統(tǒng)及中低端產(chǎn)品方面，我國(guó)已經(jīng)形成了規(guī)模優(yōu)勢(shì)，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國(guó)的差距還是比較明顯。“特氣是新興門類，在特定領(lǐng)域應(yīng)用。目前外資在產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規(guī)模上均具有較大優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)還有很多特氣不能生產(chǎn)，很多產(chǎn)品還處于進(jìn)口替代過程中。”目前全國(guó)的工業(yè)氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。

電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽(yáng)能產(chǎn)品就無(wú)法制造。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計(jì)，2016年我國(guó)晶圓制造電子材料市場(chǎng)總額達(dá)343.03億元，較2015年增長(zhǎng)6.9%，預(yù)計(jì)2017年將達(dá)359.36億元。未來(lái)中國(guó)基于廣大的市場(chǎng)消費(fèi)群體，預(yù)計(jì)仍將保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

經(jīng)過近10年發(fā)展，國(guó)內(nèi)電子氣體行業(yè)涌現(xiàn)了一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)。從2012年至2016年，國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷售額占中國(guó)晶圓制造電子氣市場(chǎng)需求由3.8%增加至25.0%，預(yù)計(jì)2017年將增加至28.4%。國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國(guó)內(nèi)自給率卻非常低，近八成產(chǎn)品依賴進(jìn)口。

“有些電子氣體國(guó)內(nèi)并不是完全不能生產(chǎn)，但在技術(shù)精益性上與國(guó)際先進(jìn)水平有差別。譬如氯化氫，國(guó)內(nèi)企業(yè)也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質(zhì)量恒定在高水平。”

據(jù)了解，國(guó)家對(duì)電子氣體的發(fā)展一直比較重視，僅去年就出臺(tái)了多項(xiàng)鼓勵(lì)政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》提到要重點(diǎn)研發(fā)超高純電子氣體；發(fā)改委印發(fā)的《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力3年行動(dòng)計(jì)劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣。“我們應(yīng)抓住時(shí)機(jī)，通過自主創(chuàng)新，增加產(chǎn)品種類，提高國(guó)產(chǎn)化率，爭(zhēng)取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約。”